| Место происхождения: | Китай |
|---|---|
| Фирменное наименование: | BAXIT |
| Сертификация: | CE |
| Номер модели: | BXT-MPCVD |
| Количество мин заказа: | 1 (Минимальн Заказ) |
| Цена: | USD149080- 150000Set|1 Set/Sets(Min. Order) |
| Время доставки: | ДНИ 5-8WORK |
| Условия оплаты: | L/C, T/T, D/A, D/P |
| Поставка способности: | 5 |
| Равочая частота: | 2450MHz | Сила выхода: | 0,1 | 6 kW непрерывно регулируемых |
|---|---|---|---|
| Стабильность силы: | лучше чем ±1% (@ расклассифицированное состояние) | Интерфейс волновода выхода: | BJ-26/22 со стандартным фланцом FD-26/22 |
| Потребляемая мощность: | 380VAC/50Hz, трехфазный 5 провод, 11kW | Подача охлажденной воды: | 18L/min |
| Коэффициент волны положения системы: | ≤ 1,5 VSWR | Утечка микроволны: | соотвествуйте национальным стандартам |
| Размер и работая режим: | Режим Φ200 x 300 (h) TM |
| Генератор и система микроволны | Равочая частота | 2450MHz |
| Сила выхода | 0,1 | 6 kW непрерывно регулируемых | |
| Стабильность силы | лучше чем ±1% (@ расклассифицированное состояние) | |
| Интерфейс волновода выхода | BJ-26/22 со стандартным фланцом FD-26/22 | |
| Потребляемая мощность | 380VAC/50Hz, трехфазный 5 провод, 11kW | |
| Подача охлажденной воды | 18L/min | |
| Коэффициент волны положения системы | ≤ 1,5 VSWR | |
| Утечка микроволны | соотвествуйте национальным стандартам | |
| Камера нагнетания вакуума микроволны | Размер и работая режим | Режим Φ200 x 300 (h) TM |
| Эффективная зона низложения | Φ50mm | |
| Ряд управлением давления | 0.5KPa~30KPa | |
| Точность управлением давления | ±15Pa | |
| Прием вакуума | Одиночное выращивание кристаллов | темпы роста 10-15μm/H, одиночное ≥ 1.6mm толщины роста |
| Одиночное кристаллическое качество | почти отсутствие дефектов под нагим глазом | |
| Система вакуума | Режим обдува | заполнение с N2 |
| Окончательная степень вакуума | лучшее than8×10-4Pa | |
| Тариф утечки вакуума | ≤10-9pA.m3/s | |
| Подъем давления | 24 среднего часа подъема давления меньше than1Pa/H |
| Система массового распространения газа | Точность | 2%-100%F.S., inletpressureis0.2-0.3Mpa |
| Тип и ряд газа | H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2ИЙ (10SCCM), N2 (20SCCM) | |
| Система этапа образца | Диаметр этапа образца | Вод-охлаженное Φ60mm; |
| Ряд регулировки образца таблица |
0~15mm | |
| Ряд регулировки плиты полости | 0~60mm | |
| Измерение температуры субстрата | ультракрасное измерение температуры ряд |
600~1200℃ (ультракрасное измерение температуры) |
| Точность контроля температуры | контроль температуры precision±5℃; | |
| Ряд контроля зоны температуры постоянного | разница в температуры каждого пункта молибдена platform≤30℃ | |
| Приборный интерфейс | Вода входа и выхода | " Наружный провод G1 |
| Соединение газа | 1/4" провод VCR наружный | |
| Интерфейс разрядки вытыхания | 3/4" наружный провод | |
| Линия электропередач | TB4506 | |
| Сопротивление изоляции | ≥5MΩ | |
| Надежность | непрерывное и стабилизированное рабочее временя в нормальных условиях не будет более менее чем 24H | |
| Полное электропитание | 380VAC±5%/50Hz, 3phase5wire, 13kW | |
| Полная охлажденная вода | 34L/min, чистая мягкая вода, температура воды входа 20℃±5℃; Давление воды 0.2~0.4MPa | |
| Размеры | ~1,95 (l) x0.8 (w) x1.90 (h) m | |
